現在，很多的行業都在用的到等離子光氧一體機，這種設備主要是兩種設備的共同體，這兩種設備分別是等離子廢氣凈化器和光氧催化廢氣凈化設備，主要是將兩種設備的優點集合在一體，利用等離子分解技術和uv光氧催化技術相結合，對工業產生的廢氣進行   協同凈化處理，等離子光氧一體機主要具有   、運行成本偏低、占地面積不大并且機械動作的好處。等離子光氧化一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，后段主要處理voc廢氣的氣味。

等離子是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態呈流星雨狀導電性流體，屬固態、液態、氣態之外第四種物質形態。等離子發生器整體保持電中性，   。按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體。

當廢氣進入等離子光氧一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子   先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子   物質，或使物質轉變成   或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

然后部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為   無味氣體。采用   C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化，可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，催化氧化作用。在分解過程中產生   高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*（活性氧）O+O2→O3（臭氧），眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的   效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化，裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，   達到脫臭及殺   的目的。

對于等離子光氧一體機的應用也比較廣泛，主要運用在造紙業、制藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機對部分行業的凈化效率在左右，是目前市場上的廢氣凈化設備。